PVA MPS, Wettenberg

Einleitung / Überblick

PVA Metrology & Plasma Solutions ist ein Tochterunternehmen der PVA TePla AG. Das Unternehmen versteht sich als Anwendungsexperte für neue Technologien bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen. Seine Kernkompetenz liegt im Verstehen der Vorgänge während der Herstellung von Halbleiter-, mikro-mechanischen und opto-elektronischen Bauelementen

Tätigkeitsfelder

Das Unternehmen unterstützt Kunden in der Hightech-Industrie mit umfassenden Leistungen zur Produktion, Optimierung und Analyse von Materialien

• Plasma Prozesse
• Analyseverfahren mit Laser-basierten Messungen
• VPD Verfahren

Leistungen & Services

Zusammen mit den Kompetenzbereichen der PVA TePla AG bietet der Bereich Metrology & Plasma Solutions umfassende Leistungen an

• Unterstützung von Kunden mit Plasma Prozessen sowie Analyseverfahren
• Laser-basierte Messungen
• VPD Verfahren
• Serviceeinsätze weltweit

Produkte

Das Unternehmen bietet Hightech-Anlagen und Systeme für verschiedene Prozesse in der Halbleiterindustrie an

• Batch Wafer Systeme
• Einzelwaferanlagen
• Batch Packaging Systeme
• Strip Type Systeme
• VPD-Systeme
• WSPS (Wafer Surface Preparation System)
• Metrologie Systeme VPD

Schwerpunkte & Besonderheiten

Die absolute Sauberkeit und die Vermeidung von Schäden im Wafermaterial sind die höchsten Gebote in der Herstellung von integrierten Schaltkreisen

• Anwendungsexperte für neue Technologien bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen
• Frühzeitige Feststellung von Mängeln reduziert die Herstellungskosten
• Nachweis von Kontaminationen auf Waferoberflächen mit Nachweisgrenzen von bis zu 1E7 at/cm²
• Oberflächenreinigung

Methoden, Arbeitsweise & Technologien

Das Unternehmen setzt spezielle Technologien und Verfahren für die Analyse und Reinigung ein

• Plasma-Systeme zur Erzeugung der erforderlichen Sauberkeit
• Nachweis der Sauberkeit und Erkennung von Defekten durch Lasersysteme
• VPD-Prozesskette in einem kompakten Systemgehäuse
• Scannen von hydrophilen Oberflächen (PAD-Scan-Y)
• Reduktion der unerwünschten Si-Matrix im VPD-Tropfen (PAD-Scan-E)

Zielgruppen & Anwendungsbereiche

Die Produkte und Verfahren werden in vielen Bereichen der Herstellung von elektronischen Bauelementen verwendet

• Waferhersteller
• Chiphersteller
• Semiconductor Packaging
• Herstellung von Siliziumwafern bis hin zu fertigen Bauelementen

Adresse & Kontaktdaten

• PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH
• Im Westpark 10 - 12
• D-35435 Wettenberg
• Telefon: +49 (0) 641/68690-0
• Fax: +49 (0) 641/68690-800
• E-Mail Bereich Plasma: Plasma-info(at)pvatepla.com
• E-Mail Bereich Laser: Laser-info(at)pvatepla.com
• E-Mail Bereich VPD: VPD-info(at)pvatepla.com
• Web: www.pvatepla-mps.com