Melinda Gärtner, Garching bei München

Einleitung / Überblick

SUSS MicroTec SE ist ein Unternehmen, das sich auf Lösungen für die Halbleiterindustrie spezialisiert hat. Mit einer Geschichte von über 75 Jahren kombiniert es technische Exzellenz mit Pioniergeist, um Innovationen zu ermöglichen

Tätigkeitsfelder

Das Unternehmen entwickelt und produziert Präzisionslösungen für die Halbleiterfertigung

• Imaging Solutions
• Bonding Solutions
• Coating Solutions
• Photomask Solutions

Leistungen & Services

Neben der Produktentwicklung bietet das Unternehmen umfassenden Service und Schulungen an

• Kundendienst über regionale Customer Care Centers für schnelle Reaktionszeiten und kompetente Unterstützung
• Persönliche Beratung durch qualifizierte lokale Supportteams
• Unterstützung für Prozesstechnologien in regionalen Anwendungslaboratorien
• Schulungen und Weiterbildungen für SUSS-Produktionssysteme im firmeneigenen Training Center

Produkte

Das Portfolio umfasst verschiedene Lösungen für die Wafer- und Photomaskenbearbeitung

• Imaging Solutions: UV-SFT Series, MJB4, MA300 Gen 3, MA200 Gen 3, MA12 Gen3, MA/BA Gen4 Series, UV Scanning, DSC300 Gen3
• Bonding Solutions: Permanent Bonding, Temporary Bonding
• Coating Solutions: Inkjet Printing, Coating & Developing
• Photomask Solutions: Cleaning, Bake & Develop
• Spezifische Produkte im Bereich Coating & Developing: RCD8, MCS8, LabSpin Series, ECD8, ACS300 Gen2, ACS200 Gen3 TE, ACS200 Gen3
• Spezifische Produkte im Bereich Inkjet Printing: JETx, LP50

Schwerpunkte & Besonderheiten

Die Lösungen zeichnen sich durch Präzision, Zuverlässigkeit und Skalierbarkeit aus

• Fokus auf gleichmäßige Filme, präzise Entwicklung und breite Substratvielfalt
• Schonende, nanoskalenpräzise Reinigungstechnologie für empfindliche EUV- und DUV-Masken
• Hochpräzise Temperaturkontrolle und flexible Multimode-Entwicklungsprozesse für Photomasken
• Präzise, berührungslose Depositionsverfahren mit minimalem Abfall beim Inkjet-Printing
• Öko-effizientes Design zur Minimierung des Chemikalienverbrauchs

Über uns / Über mich

Das Unternehmen versteht sich als vertrauenswürdiger Partner der Halbleiterindustrie

• Werte und Überzeugungen werden als entscheidend für die langjährige Partnerschaft angesehen
• Die Verbindung zu Forschung und Wissenschaft ist ein wichtiger Innovationsmotor
• Weltweite Präsenz und Teilnahme an wichtigen Branchenveranstaltungen zum Austausch von Erkenntnissen

Methoden, Arbeitsweise & Technologien

Die Arbeitsweise ist auf Prozessstabilität, Wiederholgenauigkeit und Effizienz ausgelegt

• Integrierte Metrologie zur Prozesskontrolle überwacht CD-Verschiebungen während des Bake-Vorgangs und validiert Resistmuster nach der Entwicklung
• Anspruchsvolle Prozesse erkennen CD-Variationen während des Bake-Vorgangs, um die dimensionale Treue auch für fortgeschrittene Knoten zu gewährleisten
• Systeme garantieren Effizienz, beschädigungsfreien Betrieb und Kompatibilität mit mehreren Photomaskenmaterialien

Zielgruppen & Anwendungsbereiche

Die Lösungen richten sich an die Halbleiterindustrie und angrenzende Märkte

• Anwendungen reichen von modernster Forschung und Entwicklung bis zur Hochvolumenproduktion
• Fokus auf fortschrittliche Backend-Anwendungen in der Waferbearbeitung
• Skalierbare Systeme für funktionale Materialien in der Halbleiterindustrie

Adresse & Kontaktdaten

• SUSS MicroTec SE hat seinen Hauptsitz in Garching bei München und unterhält weitere Standorte

• SUSS MicroTec SE: Schleissheimer Str. 90, 85748 Garching

• Tel. +49 89 32007-0

• E-Mail: [email protected]

• Training Center Office: Lilienthalstraße 15A, 85748 Garching near Munich, Germany

• Tel. +49 89 32007-318

• E-Mail: [email protected]

• EMEA: SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG, Schleißheimer Straße 90, 85748 Garching, Deutschland

• Schweiz: Hilpert AG, Studbachstr. 1, 8134 Adliswil, Tel. +41 56 483 25 20, E-Mail: [email protected]

• EMEA: Adeon Technologies - Inkjet Printing, Weidehek 26, NL-4824 AS Breda, Niederlande, Tel. +31 76 541 00 08, E-Mail: [email protected]

• Belgien: Electron-Mec S.a.r.l c/o Auditea, 63 Bd Denfert Rochereau, 38500 Voiron, Frankreich, Tel. +39 333 888 2393